Siegfried Maria Schiller (* 16. Februar 1933 in Simsdorf, Landkreis Jauer) ist ein deutscher Physiker. Er fungierte ab 1965 als stellvertretender Direktor des Forschungsinstituts Manfred von Ardenne und ab 1980 als Professor an der Technischen Universität Dresden. Ab 1991 leitete er das neugegründete Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik in Dresden.

Siegfried Schiller wurde 1933 in Simsdorf in Niederschlesien geboren und absolvierte nach der Vertreibung ein Studium der Physik an der Universität Leipzig. Ab 1956 war er als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Forschungsinstitut Manfred von Ardenne in Dresden tätig, wo er 1960 an der dortigen Technischen Hochschule promovierte. Ab 1965 fungierte er als stellvertretender Direktor des von Manfred von Ardenne geleiteten Instituts, im Jahr 1980 erhielt er außerdem eine Professur für Elektronenstrahltechnologie an der Technischen Universität Dresden. Nach der politischen Wende in der Deutschen Demokratischen Republik (DDR) und der deutschen Wiedervereinigung wurde er Gründungsdirektor des Fraunhofer-Instituts für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik, das 1991 in Dresden aus Arbeitsgruppen des Ardenne-Instituts entstand.

Siegfried Schiller, der Inhaber von über 200 Patenten ist, war ab 1988 korrespondierendes Mitglied der Akademie der Wissenschaften der DDR. In den Jahren 1965, 1977, 1981 und 1984 erhielt er den Nationalpreis der DDR.